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高纯气体的充装流程

时间: 2021-05-12浏览次数：

高纯气体的充装流程主要有三步，一准备工作，二抽空操作，三管道保压操作。一、准备工作： 1、气瓶上架。 2、微开阀门通入0.2MPa压力 3、检查充装软管与气瓶连接是否泄漏。 4、关

　　高纯气体的充装流程主要有三步，一准备工作，二抽空操作，三管道保压操作。

　　一、准备工作：

　　1、气瓶上架。

　　2、微开阀门通入0.2MPa压力

　　3、检查充装软管与气瓶连接是否泄漏。

　　4、关闭阀门，开启充装排放空阀，泄压至0.

　　5、目测压力表是否为0。

　　二、抽空操作：

　　1、开启真空泵，同时抽空汇流排，负压值≥0.1MPa，继续抽真空15~30min，关闭抽空管道截止阀后，停止真空泵;

　　2、缓慢开启抽空总阀。

　　3、真空表指示值<-0.1MPa

　　4、抽空5~15分钟后。

　　5、关闭抽空总阀。

　　6、开启通气阀。

　　7、关闭真空泵，抽空结束。

　　三、管道保压操作:

　　1、高纯气体的充装结束后，关闭充装排总阀。

　　2、30分钟后目测压力表压降低于10~15%。